适用产业
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半导体与高科技电子业:包含电子零件、晶圆制造前段与后段制程。
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光电与显示器产业:专注于LCD液晶面板厂房与生产线。
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无尘室与厂房厂务工程:高科技厂房的通风与基础排气设施。
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自动化干燥设备制造业:各类中高温烘烤与干燥机台制造端。
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重工业与汽车工程:针对锅炉、加热炉制造与车辆排气检测。

具体应用
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无尘室设备二次配管(Hook-up):应用于电子与制药厂内部,衔接各类高阶制程机台与厂务主排气系统间的点对点二次高温配管。
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热处理与沉积设备(Thermal Processing&Deposition):专用于晶圆烘烤炉、高温扩散炉、CVD及ALD设备,安全抽排制程中产生的极端高温废气与反应副产物。
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涂布/显影设备(Coater/Developer):对应光阻涂布后的软烤/硬烤制程线、自动化热风干燥设备,以及液晶面板厂的大型玻璃基板烘干线通风管路。
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干式蚀刻设备(Etch Systems):稳定抽排蚀刻残留的高温化学气体,其高流畅的管内工艺可有效避免制程反应副产物于内壁冷凝结晶。
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单片清洗设备(Cleaning Systems):针对高温化学清洗(如SPM、SC1蒸汽)或干式清洗后的极端热气与化学烟雾,提供安全耐腐蚀的抽吸路径。
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设备内部的共通子系统:弹性安装于各机台内部的局部加热模组、冷却气体循环系统等狭小、高弯曲度的局部空间管路中。
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工业机械送排风:作为各式工业加热炉、热交换机、燃油/燃气锅炉,以及汽车尾气检测系统之极限温度排风路径。
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中高温设备通风排气:作为各式中高温设备的标准排气与送风导管。
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130℃内干燥与热风抽吸:专为干燥制程、热风烘烤机台设计,提供-20℃至+130℃范围内的稳定热风抽排。
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电子与晶圆制程机台排风:提供半导体电子用管所需的高挠性与无尘标准,确保制程环境的稳定。
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晶体烤箱(Crystal Oven/Semiconductor Baking Oven):应用于后段封测固化与烘烤设备,高效抽吸封装银胶、环氧树脂受热挥发出的高温化学烟雾与有机废气。
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封装体检查机(IC Package Inspection System):适用于高精密自动化光学/X-Ray检查机台,满足高洁净无尘室标准,并安全排解设备内部子系统之局部散热。

产品性质
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挠性与弯曲半径:具备良好的弯曲半径(仅需外径的1.25倍),管体精致且易弯曲。能适应半导体与LCD设备内部复杂且狭窄的极限走线环境,提供最高的配管灵活度。
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伸缩灵活与高效安装:管体轻巧且具备优异的可伸缩性,有别于传统固定式硬管,能大幅降低现场配管与对接的难度。易安装的特性,帮助工程人员在受限空间内快速完成装配,有效节省厂房建置与机台维护的施工工时。
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稳定耐温无尘:采用银白色、厚度0.1mm的无尘级复合铝箔精制,能稳定承受-20℃至+130℃的中高温干燥与热风吹送。在高温运作下依然保持稳定不发尘,符合高科技电子、晶圆制程与无尘室对洁净度与中高温排气的双重标准。
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科技金属质感与坚固结构:外观呈现精致的银白色,提升半导体设备整体的高阶工业美学。内部搭配宽的凹槽形316L不锈钢金属片,以螺旋连续紧密夹扣制成,确保管体在伸缩与热风抽排过程中结构稳固、不变形。
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高安全性客制化阻燃防护:全系列可依客户及建厂规范需求,专属客制化符合UL94V-0等级阻燃防护标准。

构造
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·以银白色耐中高温无尘厚0.1mm复合铝箔为风管之材料。
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内部搭配宽的凹槽形316L不锈钢金属片,以螺旋连续紧密夹扣制成。
规格
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温度范围:摄氏-20°C至+130°C(华氏-4°F至+266°F)
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交货规格:ø38~305mm/长度5M